news 2026/7/5 6:09:13

【信息科学与工程学】【制造工程】第三十四篇 3D TSV制造工程01

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张小明

前端开发工程师

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【信息科学与工程学】【制造工程】第三十四篇 3D TSV制造工程01

详细条目(编号1~5)

编号

类型

领域

子领域 / 内容

问题(多学科交叉)

算法逐步推理思考的数学表达式及实现步骤及时序流程

关联知识

1

器件结构 / 互连工艺 / 多物理场建模对象

微电子 → 先进封装 → 3D 集成

硅通孔几何设计、寄生RLC提取、热–力–电耦合、Cu电镀填充、界面扩散与电迁移、Keep-Out Zone (KOZ)、TSV-last/first/middle 工艺

数学物理:热传导 / 弹塑性应力 / 电迁移Fick扩散 / 麦克斯韦方程(高频)
界面&表面科学:Cu/SiO₂ / Cu/Ta 界面能、晶界扩散、应力迁移
计算架构:TSV阵列宏模型、分段π模型、网格剖分(FEM/BEM)
几何/拓扑:高深宽比(AR>10)柱面拓扑、密排六边形 vs 方阵

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