news 2026/8/28 7:16:36

SEMI E30标准解析(二)_GEM三大控制状态——谁在控制设备?

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张小明

前端开发工程师

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文章封面图
SEMI E30标准解析(二)_GEM三大控制状态——谁在控制设备?

一.为什么需要三种状态

在进入细节之前,先问一个问题:为什么不只用「在线」和「脱机」两种状态就好?

原因是设备在工厂里会经历不同的生命周期阶段

阶段

控制需求

🔧维修保养

设备正在被维修人员拆解检修,绝对不能让主机下达生产指令

🧪调机测试

工程师站在设备前手动操作、验证新制程,主机只需要监看数据

🏭正式量产

设备全自动运作,由MES系统完全控制,不需人工介入

不同情境需要不同的控制权限——这就是 GEM 设计三种状态的原因。

二.三种状态总览

状态

谁在控制?

主机可以做什么?

HOST主机不能做什么?

OFFLINE(脱机)

无人控制

只能做基本通讯确认(S1F13/S1F14

不能查数据、不能下指令

ONLINE LOCAL(本地)

操作员(设备面板)

查数据、收警报、收事件

制程中不能做:
下達任何會影響当下制程的命令或修改任何会影响当下制程作业中的设备常数

ONLINE REMOTE(远程)

主机(MES/EAP

查数据、收警报、收事件、下远程命令

(无限制,完全控制)

2.1OFFLINE(脱机)——飞航模式

定义

设备处于脱机状态时,虽然与主机之间有实体联机,但不接受任何操作指令

什么时候使用?

  • 设备正在进行维修、保养、校准
  • 设备刚开机、尚未完成初始化
  • 设备正在进行自我检测

HOST主机可以做什么?

  • ✅ 发送 S1F13(Are You There?)确认设备是否在线
  • ✅ 接收 S1F14(Yes, I Am)确认设备回应

HOST主机不能做什么?

  • ❌ 不能查询任何设备数据(温度、压力等)
  • ❌ 不能下达任何操作指令(开始、停止等)
  • ❌ 不能上传或下载配方

2.2ONLINE LOCAL(本地)——手动模式

定义

设备处于在线本地状态时,控制权在操作员手上,由设备面板进行操作。完全禁止HOST主机下达会导致物理动作或启动制程的远端命令。

什么时候使用?

  • 工程师在现场进行调机、试跑
  • 新制程的验证与测试
  • 需要人工判断与介入的特殊情况

HOST主机可以做什么?

  • ✅ 查询状态变量(温度、压力、转速等)
  • ✅ 接收设备发送的警报通知
  • ✅ 接收设备发送的事件报告
  • ✅ 查询设备常数与数据变量

HOST主机不能做什么?

若是在制程中不能做以下事项:

  • ❌ 不能下达任何会影响当前制程的命令
  • ❌ 不能修改任何会影响当前制程作业中的设备常数

2.3ONLINE REMOTE(远程)——自动模式

定义

设备处于在线远程状态时,控制权完全交给主机,由 MES 或 EAP 系统自动指挥设备运作。

什么时候使用?

  • 设备正式投入量产
  • 全自动化生产线的日常运作
  • 无人化工厂(Light-out Factory)的目标状态

HOST主机可以做什么?

  • ✅ 查询所有设备数据(SV / EC / DV)
  • ✅ 接收所有警报和事件通知
  • ✅ 下达所有远程命令(START / STOP / PAUSE / RESUME / ABORT)
  • ✅ 上传与下载配方
  • ✅ 完整的设备控制权

三.篇章总结

记忆点

说明

三种状态对应三种情境

OFFLINE=维修/LOCAL=调机/REMOTE=量产

状态由操作员控制

透过设备面板切换,主机不能强制改变

LOCAL ↔ REMOTE 不能直切

必须先回到OFFLINE再切换

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