AMAT 0200-02301 顶部戒指相关信息
AMAT 0200-02301 是 Applied Materials(应用材料公司)的备件编号,通常用于半导体制造设备。顶部戒指(Top Ring)可能是晶圆处理系统中的关键部件,用于固定或定位晶圆。
功能与用途
- 用于晶圆传输或加工过程中的定位和固定
- 可能与反应腔室或传输模块配合使用
- 材质可能为陶瓷或特殊合金,以适应高温或腐蚀性环境
张小明
前端开发工程师
AMAT 0200-02301 是 Applied Materials(应用材料公司)的备件编号,通常用于半导体制造设备。顶部戒指(Top Ring)可能是晶圆处理系统中的关键部件,用于固定或定位晶圆。
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